SMARTIEHS (zakończony)

Inteligentny system do szybkiego i wielofunkcyjnego testowania elementów MEMS i MOEMS

Celem projektu o tytule „SMART InspEction system for High Speed and multifunctional testing of MEMS and MOEMS” była budowa i badania wielokanałowego systemu interferometrycznego do pomiarów parametrów funkcjonalnych i technologicznych mikrosystemów. Zbudowany na specjalnej platformie mechanicznej system pomiarowy integruje 2 niezależne moduły źródeł światła: laserowy i LED, nowatorskie optyczne komponenty macierzy 5×5 interferometrów Twymana-Greena (LI) i macierzy 5×5 interferometrów Mireau (LCI) z macierzą detektorów kamery typu „smart-pixel”. Wielofunkcyjność systemu umożliwia w jednym cyklu pomiarowym badania parametrów statycznych i dynamicznych 25 elementów typu MEMS/MOEMS na podłożu.

SMARTIEHS

[1] http://www.ict-smartiehs.eu